编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第PAGE16页共NUMPAGES16页第PAGE\*MERGEFORMAT16页共NUMPAGES\*MERGEFORMAT16页MEMS陀螺仪传感器产业探究目录：TOC\o"1-3"\h\z\uHYPERLINK\l"_Toc274826595"一、MEMS陀螺仪市场现状PAGEREF_Toc274826595\h2HYPERLINK\l"_Toc274826596"第一节、MEMS主要厂家产品资料汇总PAGEREF_Toc274826596\h2HYPERLINK\l"_Toc274826597"第二节、MEMS在我国的产业现状PAGEREF_Toc274826597\h2HYPERLINK\l"_Toc274826598"二、MEMS陀螺仪介绍PAGEREF_Toc274826598\h3HYPERLINK\l"_Toc274826599"第一节、什么是微机械（MEMS）？PAGEREF_Toc274826599\h3HYPERLINK\l"_Toc274826600"第二节、微机械陀螺仪（MEMSgyroscope）的工作原理PAGEREF_Toc274826600\h3HYPERLINK\l"_Toc274826601"第三节、微机械陀螺仪的结构PAGEREF_Toc274826601\h4HYPERLINK\l"_Toc274826602"三、MEMS技术的加工工艺PAGEREF_Toc274826602\h6HYPERLINK\l"_Toc274826603"第一节、体加工工艺PAGEREF_Toc274826603\h6HYPERLINK\l"_Toc274826604"第二节、硅表面微机械加工技术PAGEREF_Toc274826604\h7HYPERLINK\l"_Toc274826605"第三节、结合技术PAGEREF_Toc274826605\h7HYPERLINK\l"_Toc274826606"第四节、逐次加工PAGEREF_Toc274826606\h8HYPERLINK\l"_Toc274826607"第五节、LIGA工艺PAGEREF_Toc274826607\h8HYPERLINK\l"_Toc274826608"第六节、THEMLA工艺流程PAGEREF_Toc274826608\h9HYPERLINK\l"_Toc274826609"四、基于DSP的MEMS陀螺仪信号处理平台设计PAGEREF_Toc274826609\h9HYPERLINK\l"_Toc274826610"第一节、MEMS陀螺仪信号处理平台的硬件结构PAGEREF_Toc274826610\h9HYPERLINK\l"_Toc274826611"第二节、MEMS陀螺仪信号处理平台系统任务分析PAGEREF_Toc274826611\h10HYPERLINK\l"_Toc274826612"第三节、MEMS信号处理平台软件设计方案PAGEREF_Toc274826612\h11HYPERLINK\l"_Toc274826613"五、基于GPS的汽车导航系统的设计与实现PAGEREF_Toc274826613\h12HYPERLINK\l"_Toc274826614"第一节、主体控制方案PAGEREF_Toc274826614\h12HYPERLINK\l"_Toc274826615"第二节、GPS定位系统设计PAGEREF_Toc274826615\h13HYPERLINK\l"_Toc274826616"第三节、车体部分MCU主控模块设计PAGEREF_Toc274826616\h14HYPERLINK\l"_Toc274826617"第四节、系统软件设计PAGEREF_Toc274826617\h14一、MEMS陀螺仪市场现状MEMS陀螺仪即微机电系统陀螺仪，是一种微型传感器，主要用于手机及游戏机等领域。与普通芯片相比，除计算功能外，此产品还具有感知功能，通过内置的陀螺仪传感器可以感知外界运动，并做出相应反应。在具体应用上，MEMS芯片可以用在消费类电子产品上，比如游戏机中的动作控制；可以用在汽车安全领域，在汽车出现紧急情况时及时作出反应；