编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第PAGE18页共NUMPAGES18页第PAGE\*MERGEFORMAT18页共NUMPAGES\*MERGEFORMAT18页建構半導體製造過程產品異常資料挖礦技術之研究梁蕙姿簡禎富彭金堂國立清華大學工業工程與工程管理研究所國立清華大學工業工程與工程管理研究所元培科學技術學院經營管理研究所摘要為因應半導體製造過程中產品製程技術的快速變化、複雜產品組合及生產週期時間長的生產環境，如何在自動化系統輔助的大量生產之下，在製造過程中提供工程人員可確認正確的製程參數，以及發現產品異常時可立即針對問題的特徵進行問題真因追蹤與分析，針對取得的資訊進行合適的決策並將可能已受影響的產品列表管理，以減少產品的良率損失，已成為重要的產業應用與學術研究議題。本研究目的係研究資料挖礦技術中關聯規則的Apriori演算法，結合半導體領域知識，將製造過程中追蹤已發生問題的解決方式，進行關聯資料的搜尋並予以模式化，並利用決策樹歸納法進行可疑原因區別的建議；本研究並建構此半導體製造過程中的資料挖礦應用系統雛型，而以目前半導體製造中自動化系統所蒐集的資料結合此方法而建構一半導體製造過程中的資料挖礦應用系統為此研究的實作驗證，以完整地檢驗資料挖礦的方法與步驟進行大量資料的篩選、推演與模式建構等過程；結論歸納本研究結果與貢獻，並探討未來研究方向。關鍵字：資料挖礦、決策分析、半導體製造管理、關聯規則TheStudyofDataMiningTechniquesforAnalyzingSemiconductorManufacturingProductAbnormalHui-TzuLiangChen-FuChienJin-TangPengDepartmentofIndustrialEngineeringandEngineeringManagement,NationalTsingHuaUniversityDepartmentofIndustrialEngineeringandEngineeringManagement,NationalTsingHuaUniversityGraduateInstituteofBusinessandManagement,YuanpeiInstituteofScienceandTechnologyABSTRACTTheenvironmentwithinthesemiconductorindustryisonethatismadeupofrapidlychangingtechnologies,complicatedproductgroups,extensiveproductionhours.Thefollowingpointshavebecomecrucialissuesforindustrialapplicationandacademicresearchwithinthesemiconductorindustry:methodsbywhichaccurateprocessingparametersmaybeprovidedforengineerstoconfirmto,withinanautomationsystemduringmassproduction;methodsbywhichabnormalwafersmaybeinstantlytrackedandanalyzed,basedontheproblems/defectsofeachindividualcase;methodsbywhichobtaineddatamaybeappropriatelyprocessed,bywhichaffectedproductsmaybemanagedthroughareportchart,andbywhichyieldlossofproductsmaybelessened.ThisstudywillfocusontheApriorialgorithmusedindataminingtechnologies,andwillincorporateworkingknowledgeofthesemiconductorindustry,tosearchfor,andtodevelopthesolutionusedtotrackexistingproblemswithinthefabricationprocess.Thedecisiontreeanalysismethodwillalsobeusedtocategorizeanddifferentiatepossibleproblemsources.Thisstu