第4章机电一体化伺服驱动技术4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.1概述4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.2典型执行元件4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口4.3执行元件功率驱动接口图4-1伺服系统基本结构方框图表4-1电气式、液压式和气动式执行元件的具体特点图4-2步进电机伺服系统结构原理图图4-3单定子、径向分相、反应式步进电动机结构原理图图4-4步进电动机的齿距图4-5步进电动机工作原理图表4-2步进电动机的分类图4-6步进电动机的控制框图图4-7CH250环形分配器图4-8单片机控制的步进电动机驭动电路框图表4-3三相六拍环形分配表图4-9直流伺服电动机的工作原理示意图图4-10交流永磁式电机的结构图4-11交流永磁式电机的工作原理图4-12两种变频方式图4-13相SPWD波调制原理框图图4-14双极性SPWM变频器主回路图4-15双杆活塞式液压缸图4-16单杆活塞式液压缸图4-17柱塞式液压缸图图4-18伸缩缸图4-19齿条活塞缸图4-20液压电机图形符号图4-21轴向柱塞液压电机工作原理图图4-22曲轴连杆径向柱塞电机图4-23单作用气缸图4-24双作用气缸表4-4气爪的分类及其工作原理图4-25功率驭动接口的一般组成形式图4-26单片机控制变频调速框图图4-27IGBT的简化等效电路图图4-28单片机与单向晶闸管接口电路图4-29固态继电器内部结构示意图图4-30直流继电器接口电路图4-31电液伺服阀的基本构成