透射电子显微镜介绍1.透射电镜原理TEMDesignTEMColumnDesignandFilaments灯丝图9-2透射电子显微镜光路原理图2.电镜历史3.透射电镜的构造电子枪的类型和特点几种电子枪性能对比聚光镜系统：将来自电子枪的电子束会聚在样品上（会聚后发散角10-2弧度，基本为平行光），控制照明束斑的大小及孔径；样品室和样品台：电子在穿透样品的路径中，会发生电子的弹性散射和非弹性散射，若以满足布拉格方程的角度与一组晶面相遇，会发生电子衍射；成像系统图9-7透射电镜成像系统的两种基本操作(a)将衍射谱投影到荧光屏(b)将显微像投影到荧光屏三、选区电子衍射选区衍射操作步骤真空系统4.透射电镜制样粉末样品超声分散法选择铜载网/微栅－碳支持膜－分散－取样－干燥；块状样品离子减薄制样1）块状样品粗切割：低速锯切割，厚度最好切到1000μm以下；2）脆性样品：超声波切片机，得到Φ3mm圆片；延展性样品：冲孔机得到Φ3mm圆片；3）研磨盘:研磨减薄,直至圆片厚度小于100μm。4）凹坑仪：机械磨削凹坑，厚度一般磨至20μm5）离子减薄仪：采用高纯聚焦Ar+离子束轰击Φ3mm圆片，直至样品中心区穿孔，获得满足电镜观察要求的薄膜。500µmHeaterIonbeam超薄切片仪对生物样品和高分子等软材料，可切割达到电镜观察要求的超薄切片。5.透射电镜观察样厚<100nmHRTEM透射电镜分析的应用近年来国内主要高校科研单位的TEM简介4.2JEM-3010透射电镜(吉林大学)JEM-3000F场发射枪电镜4.3武汉大学电镜中心JEM2010FEG(UHR)(亚洲第一）－Ω型能量过滤、场发射枪超高分辨透射电子显微镜主要指标：点分辨率0.19nm，晶格分辨率0.102nm，STEM晶格分辨率0.34nm，能量损谱能量分辨率2eV，最小束斑0.5nm，加速电压200kV.主要配件和功能：STEM、HAADF、EDS、PEELS室温双倾样品台，低温（液氮）双倾样品台，室温双倾铍(Be)样品台，双倾加热样品台，Gatan794MultiScanCamera（1KX1Kpixel）-MultiScan600HP4.4中科院电子显微镜重点实验室4.5北京大学电子显微镜实验室