課程名稱：（中文）進階微機電元件實作開課單位奈微所（英文）ADVANCEDMEMSDEVICEFABRICATION：EXPERIMENT課程代碼Q251600授課教師：張守進,李旺龍學分數3必/選修選修開課年級碩、博士班先修科目或先備能力：微機電元件實作，半導體微製程技術課程概述與目標：本課程主要以培養出來之微機電製程能力進而訓練學生獨立思考與設計微機電元件，包含微流元件、微致動器、微感測器、生醫微晶片、微光學元件，啟發學生的創造力，訓練學生自行從晶片元件的結構與尺寸設計來達成其致動或感測的目標，並實際經由微機電製程技術來製作出所設計之元件，最後則進行元件的實行與實驗，完成一整套的設計、製作、測試、除錯的元件實作課程。教科書陳建人,微機電系統技術與應用,國科會精儀中心出版,2004.Bao,Min-Hang,AnalysisanddesignprinciplesofMEMSdevices,Amsterdam;Elsevier,2005.Tay,FrancisE.H.,MicrofluidicsandBioMEMSApplication,Boston:KluwerAcademicPublishers;2002.課程綱要對應之學生核心能力備註單元主題內容綱要Chap.1ChipdesignNovelconceptstimulation,MEMSanalysis一、二、三、四Chap.2ChipconstructionMEMSdesign,structure/materialproperties一、二、三、四Chap.3ChipfabricationThinfilmdeposition,Photolithography,dry/wetetching,bonding一、二、三、四Chap.4ExperimentanddemonstrationChipworking一、二、三、四教學要點概述：本課程主要以培養出來之微機電製程能力進而訓練學生獨立思考與設計微機電元件，課程中訓練學生由蒐集資料能力開始，進行實驗的規劃且教授其經由學理概念與數值計算進行元件的設計，並培養小組組員間互相討論與腦力激盪，激發出創新與技術改良之能力，之後輔助學生自行從晶片元件的結構與尺寸設計來達成其致動或感測的目標，並實際經由微機電製程技術來製作出所設計之元件，最後則進行元件的實際測試與實驗。註：1.教科書請註明書名、作者、出版社、出版年等資訊。2.教學要點概述請填寫教材編選、教學方法、評量方法、教學資源、教學相關配合事項等。3.研究所所有開設之課程，皆須填寫此表格或提供原有格式之課程綱要表。