MEMS设计复习提纲第一章：MEMS和微系统概论1、微机电系统基本概念、特征尺度、构成及特点2、MEMS与微电子学的关系3、摩尔定律4、微机电系统实例第二章微系统工作原理1、微传感器的概念、分类、技术指标2、常见的压阻、电容、隧道、压电、谐振、热对流等基本敏感原理及其优缺点，相应原理的传感器特点及微结构示意图3、微执行器的概念、分类4、常见的致动方式：静电、电磁、热、压电、形状记忆合金的基本原理及特点第三章微系统设计和制造的工程科学原子结构、离子化及其方法、分子作用力及其特点、P型掺杂、N型掺杂、扩散、离子注入、等离子体产生过程、光子、量子第四章微系统设计中的工程力学1、材料力学基本知识（应力、应变、位移、胡克定律）2、典型结构的静态受力分析3、梁结构受力分析、薄板弯曲问题、周边固支圆盘、矩形板、正方形板的弯曲4、弹簧-阻尼器-质量块系统二阶系统运动微分方程的建立、固有频率、阻尼、共振。5、二阶系统方程的解及其意义，过阻尼、临界阻尼、欠阻尼、零阻尼第五章微流体工程和微系统设计1、微流体器件2、流体力学基本知识、连续性方程、动量方程、运动方程3、表面张力及毛细效应4、固体中的热传导5、微纳米尺度的流体流动第六章微型化中的尺度效应1、尺度的基本概念2、刚体动力学、静电力、电磁力、电学、流体力学、热传递中的尺度第七章微系统设计实例1、加速度基本概念2、设计过程中力学分析：静力学、模态3、敏感原理、设计实现及检测方法设计4、加速度计设计步骤5、具体设计方案试题题型填空、选择、简答、论述、分析参考：一、课后习题二、参考题1.简述相对微电子与MEMS微系统的差异。2.简述与宏观系统相比，MEMS微系统的优势。3.某MEMS器件的动态模型为可用弹簧-阻尼器-质量块系统来近似，试推导质量块m位移的运动方程，固有频率ωn，阻尼比ξ4.试列出四种MEMS中常用的致动机制，并简述其原理及其各自的优缺点5.试列出四种MEMS中常用的敏感机制，并简述其原理及其各自的优缺点6.列写出材料弹性变形所遵循的胡克定律公式，说明其物理含义；7.已知长为L、宽为W的两块平行板间距为d，两端加电压V，试推导电极板分别在d、W、L方向的静电力，并根据尺度规律分析平行板的变化对静电力的影响。8.推导电阻和电阻功率的尺度规律。